桌面台式电镜是一种体积小巧、操作简便的电子显微成像设备,广泛应用于材料科学、生物、地质、电子元器件及教学科研等领域。相比传统大型电镜,
桌面台式电镜无需复杂的真空系统和专业操作环境,可在普通实验室中实现纳米级表面形貌观察。其性能虽略低于某些电镜,但凭借高性价比和易用性,已成为科研与质检的得力工具。整机由多个核心部件协同工作,各具不同功能与技术特点。

1、电子光学系统
核心部件包括电子枪和电磁透镜。电子枪通常采用钨灯丝或场发射(部分型号)作为电子源,发射电子束。台式电镜多使用低真空或环境模式,电子枪结构简化,寿命较长。电磁透镜(物镜、聚光镜)用于聚焦电子束,控制束斑大小,影响分辨率(通常可达10-30nm)。
2、真空系统
台式电镜配备小型化无油真空泵(如涡旋泵或膜片泵),可在5-10分钟内将样品室抽至工作真空(10-50Pa),无需液氮或复杂维护。部分型号支持低真空模式,可直接观察非导电样品,减少喷金处理。
3、样品室与载物台
样品室为密封腔体,体积小,便于快速抽真空。内置手动或电动三维载物台,可精确调节样品X、Y、Z方向位置,部分型号支持倾斜或旋转,便于多角度观察。载物台行程通常为几厘米,满足常规样品扫描需求。
4、探测器系统
用于收集电子信号并转换为图像。主要探测器包括:
二次电子探测器(SED):捕捉样品表面发射的二次电子,提供高分辨率表面形貌图像,是主要成像模式。
背散射电子探测器(BSED):检测高能背散射电子,对原子序数敏感,可区分材料成分差异。
部分型号集成能谱仪(EDS),实现微区元素分析,提升检测功能。
5、图像采集与控制系统
通过计算机或触摸屏控制电镜运行。软件界面直观,可实时调节加速电压(通常5-30kV)、束流、工作距离、对比度与亮度。图像可即时保存、标注、测量(如粒径、距离),支持多种格式导出。
6、冷却与电源系统
采用风冷或自然散热设计,无需外接冷却水。电源集成于主机,使用普通220V交流电,安装便捷。
7、安全防护装置
配备电磁屏蔽、高压联锁和紧急停机功能,确保操作安全。舱门关闭后自动锁定,防止辐射泄漏。